Misiņa veidgabalu tīrības kontrole pusvadītāju speciālajās gāzes sistēmās
Ievads pusvadītāju speciālās gāzes sistēmās
Pusvadītāju ražošanas procesi pieprasa ultra netīro, ļoti kontrolētu vidi.
Speciālajām gāzes piegādes sistēmām ir kritiska loma kodināšanā, nogulsnēšanā, dopingā un tīrīšanas posmos.
Gāzēm, piemēram, silānam, amonjakam, ūdeņraža hlorīdam un slāpekļa trifluorīdam, ir nepieciešami augstas tīrības pakāpes transporta ceļi.
Misiņa veidgabali, lai arī ne vienmēr ir pirmā izvēle, dažreiz tiek piemēroti sekundārajās līnijās vai atbalsta sistēmās.
UzturošsĶīmiskā tīrība un strukturālā integritāteMisiņa veidgabalu ir ļoti svarīgi, lai izvairītos no piesārņojuma.
Materiāla tīrības nozīme pusvadītāju lietojumos
Pusvadītāji ir ārkārtīgi jutīgi pret molekulārā līmeņa piemaisījumiem.
Pat daļas par miljardu (PPB) piesārņojums no cauruļvadu vai veidgabaliem var izraisīt ražas zudumu vai ierīces kļūmi.
Ārstnieciskai, korozijai vai virsmas reakcijām gāzes līnijās ir stingri jākontrolē.
Tas padara materiālu atlasi un tīrības pārvaldību galveno gāzes sistēmas projektēšanā.
Misiņš ar pareizu apdari un kvalitātes kontroli var izpildīt šos standartus nekritiskās gāzes līnijās.
Misiņa materiāla sastāvs un bažas
Standarta misiņš ir vara un cinka sakausējums, kas dažreiz satur svinu vai alvu.
Piemaisījumi, piemēram, sēra, fosfora vai atlikušās eļļas, var apdraudēt tīrības līmeni.
Tīrās telpas vai pusvadītāju lietojumprogrammās ir stingri izvairies no misiņa.
VienīgaisZema svina, dezincifikācija izturīga (dzr)Misiņš jāapsver šādai videi.
Ražotājiem jāsniedzmateriālu sertifikātiapstiprinot atbilstību SEMI, ASTM vai ROHS standartiem.
Virsmas apdare un elektropolēšanas prasības
Misiņa veidgabalu iekšējā virsmas apdare lielā mērā ietekmē gāzes sistēmas tīrību.
Rupjas vai porainas virsmas slazdas mitrums, ogļūdeņraži un daļiņas, izraisot ilgtermiņa piesārņojumu.
Lai to novērstu, veidgabali bieži irelektropolētsLai sasniegtu gludu, pasīvu iekšējo virsmu.
Mērķa virsmas raupjums (RA) parasti ir mazāks nekā0.2 µmGāzes sadales līnijām.
Pēcpasākšanas, armatūras tīrīšana tiek veiktaUltrapure šķīdinātājikam seko vakuuma žāvēšana un slāpekļa attīrīšana.
Daļiņu kontrole un tīras telpas iepakojums
Misiņa veidgabaliem pusvadītāju gāzes sistēmām jāatbilst stingriemDaļiņu skaitīšanas specifikācijas.
Jebkuras vaļīgas daļiņas vai metāla pārslas var būt postošas gāzēm jutīgām vafelēm.
Lai to risinātu, armatūrai tiek veikta augstas tīrības pakāpeultraskaņas tīrīšanaIzmantojot DI ūdens un 100. klases tīras telpas standartus.
Pēc tīrīšanas veidgabali irdivkosīgstīras telpas pakāpes iepakojumā, lai novērstu atkārtotu piesārņošanu.
Etiķetes bieži ietver partiju izsekojamību, informāciju par partijas tīrīšanu un mitruma kontroles indikatoriem.
Pasivācija un pārklājumi ķīmiskās stabilitātes gadījumā
Tā kā misiņš ir reaģējošāks nekā nerūsējošais tērauds, virsmas pasivācija ir izšķiroša.
Pasivācijas metodes ietver kontrolētu oksidāciju, bez hroma pārklājumus vainiķeļa pārklājums.
Niķeļa vai elektroless niķeļa pārklājumi kalpo kā barjeras slānis, lai novērstu cinka izskalošanos vai oksidāciju.
Šis pārklājums arī uzlabo ķīmisko saderību ar tādām gāzēm kā HF vai CLF₃.
Regulāras pārklājuma biezuma pārbaudes un adhēzijas pārbaude nodrošina spiediena sistēmu izturību.
Pārbaude, sertifikācija un izsekojamība
Augstas tīrības misiņa veidgabaliem jāizietDaudzlīmeņu pārbaudepirms integrācijas gāzes līnijās.
Pārbaude ietver:
Hēlija noplūdes pārbaude (parasti<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Atlikušā gāzes analīze (RGA)
Mikrobalances daļiņu izmešanas testi
XRF vai ICP-MS materiāla pārbaudei
Katrai montāžai jābūt pilnībāIzsekojams pēc partijas numura, ar saistītuAtbilstības sertifikāti (COC).
Dažām iespējām ir nepieciešami trešo personu auditi vai ISO 14644 sertifikācijas dokumentācija.
Lietojumprogrammu robežas un alternatīvas
Kaut arī misiņš var izpildīt tīrības kritērijus, tā izmantošana irierobežots ar nekritiskiem ceļiemPusvadītāju fabos.
Par īpaši augstas tīrības (UHP) gāzes līnijām,316L nerūsējošais tērauds ar videomagnetofonu vai orbitālajām metinātāmpriekšroka tiek dota.
Misiņa veidgabalus var izmantot izplūdes sistēmās, attīrīšanas līnijās vaiApstrādājiet dzesēšanas ūdens sistēmas.
Pareizi izvēloties un atbilstoši apstrādājot, misiņš nodrošina rentablu, stabilu risinājumu.
Turpmākie sasniegumi pārklājuma un tīrīšanas tehnoloģijā var paplašināt tā lietderību pusvadītāju lietojumos.
Secinājums
Tīrības kontrole misiņa veidgabalos pusvadītāju speciālo gāzes sistēmām ir gan sarežģīta, gan būtiska.
Sākot no materiāla izvēles līdz virsmas apdarei un iesaiņošanai, katrs solis ietekmē gāzes kvalitāti.
Kaut arī misiņš nav ideāls lietojumprogrammai ar augstu tīrību, uzlabota apstrāde un kvalitātes kontrole var padarīt to dzīvotspējīgu atsevišķās zonās.
Ar stingru pārbaudi, pasivāciju un sertifikāciju šie veidgabali var droši atbalstīt nākamās paaudzes mikroshēmu ražošanas vidi.
Sazinieties ar Ifan
Tālrunis:+86 15088288323
E -pasts:sales24-ifan@ifangroup.com
